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德國海德漢HEIDENHAIN絕對式直線光柵尺 海德漢LIC 4100 V系列是一款專為高真空環境設計的絕對式直線光柵尺，可在需要真空條件的高科技領域中提供精確的直線位置測量反饋 。該系列光柵尺采用無接觸光學測量原理，能夠在設備開機瞬間輸出準確的位置，特別適合半導體制造、電子器件生產、薄膜工藝、材料研究、生物技術和醫療設備等要求嚴苛真空環境的場合 。
更新日期：2025-09-02
型號：LIC 4100 V系列
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